5月22日，半导体设备厂商北方华创公告称，公司及旗下全资子公司北方华创微电子收到北京经信委拨付的国家科技重大专项地方政府配套资金合计20978.00万元。

       根据公告，这次拨付的配套资金项目有四个，分别是“45-32nm LPCVD设备产业化”项目、“14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化”项目、“28-14nm原子层沉积系统（ALD）产品研发及产业化”项目、“14-7nm CuBS多工艺腔室集成装备研发及产业化”项目。

        这四个项目均属于国家科技重大专项02专项。2006年国务院发布《国家中长期科学和技术发展规划纲要（2006-2020年）》确定发展16个重大专项，其中“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”被列为“02专项”，该专项于2008年国务院批准实施。

        02专项成立后，组织“产学研”联合开发，向世界先进芯片技术节点攻关并推动装备国产化，北京市作为组织牵头单位，对项目承担单位予以资金扶持，当时的北方微电子、七星华创（北方微电子、七星华创后重组为“北方华创”）等产业链企业开始集体攻关。

       北方华创的四个项目中，“45-32nm LPCVD设备产业化”项目执行期六年（2011年~2016年），本次北方华创收到地方政府配套资金2328.00万元。据报道，北方华创已完成LPCVD的攻克任务，其LPCVD设备已成功进入中芯国际12英寸生产线。

       “14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化”项目执行期四年（2014年-2017年），本次北方华创微电子收到地方政府配套资金9423.00万元。北方华创在2017年年报中表示“目前所承担的02专项在研课题14nm制程设备也已交付至客户端进行工艺验证。”

        “28-14nm原子层沉积系统（ALD）产品研发及产业化”项目执行期四年（2015-2018年），本次北方华创微电子收到地方政府配套资金4811.00万元。2017年北方华创已推出其量产型单片ALD设备，并于2017年12月5日进驻上海集成电路研发中心。

       “14-7nm CuBS多工艺腔室集成装备研发及产业化”项目执行期四年（2016年-2019年），本次北方华创微电 子收到地方政府配套资金4416.00万元。

      02专项中政府补助经费是由中央财政资金及地方政府配套资金在项目执行期内分批拨付，本次仅为部分资金。2017年5月，北方华创也曾收到了“14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化”项目、“28-14nm原子层沉积系统（ALD）产品研发及产业化”项目、“14-7nm CuBS多工艺腔室集成装备研发及产业化”项目的地方政府配套资金共约1.9亿元。

       据系，这三个项目总经费分别为12.35亿元、5.51亿元、6.78亿元，政府承诺将补贴8亿元、3.6亿元、2.98亿元。公告称，公司将本次政府补助到账资金作为递延收益，在相关资产达到预定可使用状态后，在资产的使用期限内平均分摊计入损益，截至公告日，相关资产尚未达到可使用状态。北方华创预计本次政府补助资金不会影响公司2018年度税前利润总额。

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