分辨率为1.5μm的“fx-903m” 尼康开发出了2款支持第4代玻璃底板（尺寸为730mm×920mm）的中小尺寸液晶面板用曝光装置。包括生产率比原机型提高10％的“fx-803m”以及分辨率增至1.5μm的“fx-903m”。支持手机及车载用中小尺寸液晶面板的高精细化和高性能化。计划4月开始受理订单。