MicroSense，LLC，以前称为ADE Technologies，由四大主要业务组成——晶圆几何计量系统、精密电容传感器、振动样品磁强计和用于最先进磁测量的磁光克尔效应（MOKE）工具。MicroSense服务于许多行业，包括半导体制造、数据存储、机床、太阳能、汽车和高亮度LED。MicroSense通过丰富的业务经验、财务实力、全球支持和技术领先地位，为客户提供价值和安全保障。MicroSense于2019年2月22日被KLA公司收购
MicroSense是高分辨率电容式位置传感器的领先供应商。以前被称为ADE技术，自1967年以来，MicroSense一直提供高分辨率电容传感器。该公司为客户提供最先进的测量性能，以满足高分辨率、非接触式位置传感应用的需求。MicroSense还提供振动样品磁强计，用于磁性测量。微传感器服务于半导体设备、数据存储、机床、精密运动控制和汽车等众多行业。通过丰富的业务经验、财务实力、全球支持和技术领先地位，MicroSense为客户提供了价值和安全保障。 所有MicroSense 位置传感器的特点是： 微感振动样品磁强计是最容易使用和最敏感的VSM 。
我们的电容传感器业务最初是ADE公司的一部分，由Robert C.Abbe于1967年创立。ADE公司以其远见卓识和新颖的高分辨率、非接触测量方法而闻名于世，用于高要求的尺寸测量应用。随着时间的推移，ADE逐渐成为世界领先的裸半导体晶圆测量工具供应商。用于位置和位移测量的高分辨率电容式传感器（也称为“电容计”）成为“ADE”和我们的商标名“MicroSense”的同义词。
MicroSense基于获得专利的电容传感技术，提供电容传感器和OEM计量模块，对精密产品（如太阳能晶片、蓝宝石晶片、硬盘驱动电机、空气轴承主轴、精密X-Y工作台、光盘、汽车零件和机床）进行非常精确的高带宽测量。我们的电容式位移传感器提供业界最高的分辨率，小于0.05纳米，卓越的稳定性和几乎无限的使用寿命。
