Nikon Precision, Inc.(位于加利福尼亚州贝尔蒙特)和Nikon Precision Europe(总部位于德国兰根)是Nikon Corporation的全资子公司。近700名员工为Nikon光刻系统提供销售、服务和客户支持。Nikon Corporation公司成立于1917年,是世界领先的光学公司之一。凭借数十年光学透镜和精密设备制造商的经验,Nikon于1980年开发了世界上第一款具有生产价值的分步重复光刻工具NSR-1010G。从那时起,超过60种型号的Nikon半导体光刻系统(步进机和扫描仪)已经印刷了一半的集成电路。如今,Nikon是全球领先的半导体光刻系统供应商。
Nikon光刻系统涵盖了当今制造设备所需的一系列分辨率。Nikon产品组合包括专门开发的用于MEMS、LED和封装工艺的g/h/i线步进器、超高生产率i线步进器,以及用于要求最苛刻的半导体应用的业界领先的KrF/ArF和浸没式扫描仪。此外,Nikon还提供一系列先进的半导体检测设备,包括OPTISTATION和自动宏观检测(AMI)系统,以及用于图像传感器检测的专用照明系统。Nikon以最低的拥有成本和任何制造商最全面的客户支持提供卓越的性能。
Nikon。技术可以做得更多。