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摘要： IMEC推出输出功率破记录的压电能量采集机，该公司的压电采集设备是首个采用MEMS技术制造的,能从振动产生的电功率记录为85μW。该采集机采用晶圆级封装方式，为与温度传感器一起运行的无线传感器节点供电，该温度传感器可以完全自主方式无线传输数据。该器件采用6吋硅片上具有成本效益的、CMOS兼容的ME...
IMEC推出输出功率破记录的压电能量采集机，该公司的压电采集设备是首个采用MEMS技术制造的,能从振动产生的电功率记录为85μW。该采集机采用晶圆级封装方式，为与温度传感器一起运行的无线传感器节点供电，该温度传感器可以完全自主方式无线传输数据。该器件采用6吋硅片上具有成本效益的、CMOS兼容的MEMS工艺，由悬挂在用作压电材料的氮化铝柱的硅料组成.通过改变柱和硅料的尺寸,用户可精细调整150-1200Hz间任一谐振频率。IMEC INC., San Jose, CA. (408) 551-4502.
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