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KLA-Tencor公司(纳斯达克股票代码:KLAC)今日针对次十奈米(sub-10nm)积体电路(IC)元件的开发和量产推出四款创新的量测系统:Archer?600叠对量测系统,WaferSight?PWG2图案化晶圆几何形状测量系统,SpectraShape?10K光学线宽(CD)量测系统和S...
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