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光刻机是集成电路最具关键性的基础装备之一,全球只有3-4家厂商可以生产制造,中高端产品几乎被国际厂商垄断,要想解决我国集成电路产业发展中的“卡脖子”问题,推动光刻机的国产化势在必行,需要调动国家资本、产业资本和社会资本的共同参与。
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