本文主要介绍了MEMS器件中的新应用，具体包括MEMS器件在微执行器中的应用、MEMS器件在微流阀中的应用、MEMS器件在微夹具中的应用等方面的内容。

多个3轴陀螺仪和3轴加速度计组合成一个单一的高性能设备。

TDK InvenSense IIM-42653 6轴SmartIndustrial MotionTracking 设备支持扩展工作温度和32 g和4000 dps的全尺寸范围。