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为了满足14nm(奈米)以下的先进製程製造需求,半导体製造用高性能射频匹配网路、射频电源产生器和流量管理系统开发商Reno Sub-Systems推出了EVC(电子式可变电容)匹配网路,新式系统改善了传统的VVC(真空可变电容)性能。现阶段,半导体製造商促使着相关OEM厂商改善机台腔体(Chamb...
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