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残留气体分析仪:

残留气体分析仪(RGA)是用于识别真空环境中存在的气体的光谱仪。残留气体分析仪通过产生气体样品的电离分子,根据离子的质荷比分离所得的离子混合物,提供输出信号(用于测量存在的相对种类)并计算速率来执行此功能。

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