近日，智光电气在投资者互动平台上透露，其参股的广州粤芯半导体采购了荷兰ASML（艾司摩尔）光刻机，并且于今年3月中旬搬进了粤芯半导体主厂房。

图片来源：深交所互动易

智光电气表示，其目前持有广州誉芯众诚股权投资合伙企业30%有限合伙人份额，间接持有粤芯半导体股权。此外，智光电气还在互动平台上表示，粤芯半导体一期以90nm-180nm技术产品为主，二期以65nm-90nm技术产品为主。 

智光电气表示，目前粤芯半导体正在做量产前的最后调试准备。光刻机等主设备的顺利进驻，为粤芯半导体量产计划提供了有力保障。 广东卫视近日也报道称，粤芯半导体首条生产线已进入最后的调试阶段，即将在6月投片、9月量产。

据悉，广州粤芯半导体技术有限公司于2017年12月在广州开发区中新知识城设立，是国内第一座以虚拟IDM (Virtual IDM) 为营运策略的12英寸芯片厂，也是广州第一条12英寸芯片生产线，目前已被列入广东省、广州市重点建设项目。该项目于2018年3月开始打桩，2018年10月按原计划完成主厂房封顶。

根据粤芯官网介绍，粤芯半导体项目投资70亿元，新建厂房及配套设施共占地14万平方米。建成达产后，粤芯半导体将实现月产40,000片12英寸晶圆的生产能力，产品包括微处理器、电源管理芯片、模拟芯片、功率分立器件等，满足物联网、汽车电子、人工智能、5G等创新应用的模拟芯片需求。