IDT, Integrated Device Technology高性能MEMS流量传感器模块的介绍、特性、及应用

来源：HQBUY 发布时间：2022-11-14

摘要： IDT, Integrated Device Technology的质量流量传感器模块非常适用于工业过程、医疗保健和汽车市场

来自IDT, Integrated Device Technology的固态质量流量传感器模块使用热传递(量热)原理测量流过传感表面的气体或液体流量。这种微型流量传感器采用了一系列MEMS热电偶，具有良好的信噪比。采用主动MEMS传感元件的固体热隔离和碳化硅薄膜涂层，IDT流量传感器提供优良的耐磨性和长期可靠性。

IDT提供未校准毫伏输出或完全校准和线性化版本的气体或液体，典型精度低至2%的读数。

特性
测量气体或液体流量 MEMS热电堆传感 MEMS流量传感器的碳化硅涂层坚固的固体隔离技术 MEMS元件内无空腔导致堵塞抗振动和压力冲击		精度高，灵敏度高快速响应时间易于清洗和消毒 3 V(直流)到5 V(直流)供电选项食品级兼容的版本
应用程序
工业过程医疗保健		医疗设备汽车系统

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测量气体或液体流量 MEMS热电堆传感 MEMS流量传感器的碳化硅涂层坚固的固体隔离技术 MEMS元件内无空腔导致堵塞抗振动和压力冲击		精度高，灵敏度高快速响应时间易于清洗和消毒 3 V(直流)到5 V(直流)供电选项食品级兼容的版本
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