Renesas / IDT FS1012和FS2012流量传感器使用热传递(量热)原理测量气体或液体的流量。流量传感器采用了一系列MEMS热电偶，具有良好的信噪比。主动MEMS传感元件的固体热隔离以及碳化硅薄膜涂层提供了优异的耐磨性能和长期可靠性。瑞萨/ IDT提供了一个未校准毫伏输出版本(FS1012)，完全校准和线性化的FS2012无论是气体或液体，典型的精度下降到2%的读数。这些流量传感器非常适合用于工业流程、医疗保健和汽车市场。

特性

• 气体或液体流动

• 模因热电堆传感

• MEMS流量传感器上的碳化硅涂层

• 坚固固体隔离技术

• MEMS元件内没有造成阻塞的空腔

• 耐振动、压力冲击

• 精度高

• 快速响应时间

• 高灵敏度

• 食品级兼容的版本

• 易于清洗和杀菌

• 3V - 5V直流电源(5V for FS2012)

应用程序

• 工业过程

• 过程控制和监视

• 油气泄漏检测

• 暖通空调和空气控制系统

• 液体分配和计量系统

• 医疗保健和医疗

• 医疗输液泵

• CPAP和呼吸设备

• 酒精测试

• 制氧机

• 汽车

• 整体气流组件

• 柴油燃料流量

• 制动液流

• 碳空气质素控制