摘要: Kionix / ROHM半导体KX三轴数字加速度计是硅微加工加速度计。传感元件是使用Kionix专有的等离子微加工工艺制造的。通过使用玻璃熔块将第二个硅盖片粘接在器件上,该感应元件在晶片水平上密封。特性游览g范围X, Y和Z感应轴通过I(...
Kionix / ROHM半导体KX三轴数字加速度计是硅微加工加速度计。传感元件是使用Kionix专有的等离子微加工工艺制造的。通过使用玻璃熔块将第二个硅盖片粘接在器件上,该感应元件在晶片水平上密封。
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