Sensirion SFC5500数字多气体质量流量控制器是基于CMOSens 的器件，通过基于热交换的量热原理来测量气体质量流量。该控制器在速度、精度和可重复性方面取得了无与伦比的评级，而且系统成本非常诱人。热绝缘膜上的加热元件和位于上游和下游的两个热堆集成在一个硅片上。在气流存在的情况下，上、下游的温度分布受到干扰。然后测量这种不对称性。更大的通道设计使设备对颗粒、堵塞和湿化气体更强大。由于紧凑的单芯片设计和安装在金属部件之间，基于CMOSens 的传感器也非常抗电磁干扰(EMC)。

全补偿流量测量值可以提供每一毫秒放大，A/D转换，数字线性化，温度补偿匹配传感器的速度。SFC5500质量流量控制器具有零漂移性能，可以独立于环境温度和压力变化控制真正的质量流量。两个温度传感器的特殊配置、片上温度补偿和噪声源的最小化，使其在大动态范围内的可重复性和精度方面具有无与伦比的性能。

特性

• 卓越的准确性和重复性(设定值分别为0.8%/0.1%)

• 控制范围非常宽(优于1000:1)

• G(1/4)″法兰兼容广泛的连接器(如Swagelok, Legris, Festo)

• 校准多种气体(空气，N2, O2, H2, He, CH4, N2O, Ar, CO2)

• 超快沉淀时间(<100ms)

• 具有温度补偿输出的数字接口

• NIST-traceable校准

• 平均故障间隔时间(MTBF) 169年

• 现场无需漂移和重新校准

规范

• 典型设定时间为100ms

• 1000赫兹频率测量

• 优于1000:1控制范围

• 1 s热身时间

• 0到+50°C(+32°F到+122°F)环境工作温度范围

• 10bar/145psig最大输入压力

• 5bar/73psig最大压差

框图