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摘要： 高精度，具有不同的校准和流量范围，从100slm到50sccm全尺寸。
Sensirion SFM5500质量流量计是高精度传感器，具有不同的校准和流量范围从10slm降至50sccm全尺寸。Sensirion SFM5500质量流量计具有可交换的插入式接头和数字接口。这些质量流量计采用了Sensirion CMOSens 技术，该技术在单芯片上结合了高精度传感器元件和最先进的信号处理。
10slm最大流量
卓越的准确性和重复性(分别为设定值的0.8%/0.1%)
小于0.1%至100%全尺寸控制和测量范围
G(1/4)”法兰与各种连接器兼容，包括Swagelok, Legris, Festo
校准多种气体(空气，N(2)， O(2)， H(2)， He, CH(4)， N(2)O, Ar, CO(2))
数字接口与温度补偿输出
沉淀时间小于100ms
高达10bar的耐压能力
169年平均故障间隔时间(MTBF)
无漂移，无需在现场重新校准
NIST-traceable校准
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