摘要: New Scale Technologies的M3-L-1.8微型高分辨率压电驱动器具有集成驱动器和闭环控制器。
New Scale Technologies的M3-L-1.8微型高分辨率压电驱动器具有集成驱动器和闭环控制器。它的分辨率为0.5微米,尺寸不到同类定位系统的一半,重量只有同类定位系统的四分之一。
这种紧凑,强大的运动系统可以帮助OEM设计人员在广泛的应用中提高性能并减小仪器的尺寸。它的行程范围为6毫米,包括末端尖端,可推动或拉动约5克的负载。推/拉失速力(±1度轴向对齐)为0.20牛顿。
M3- l模块建立在New Scale的M3微机电一体化模块技术平台上,是目前可用的最小、最高分辨率和最可重复的闭环微机电一体化系统,所有这些都在一个易于集成、可定制的包中。
该平台包括一个专利压电微电机、一个驱动专用集成电路(ASIC)、一个高分辨率磁位置传感器、一个微处理器和固件。该模块在3.3 V(DC)输入下工作,并通过标准串行接口接受简单的高级运动命令。
M3-L线性驱动器设计用于推动或拉动轻物体。它需要在静态和动态条件下仔细注意加载。它不是用来负重的。
一体式智能执行机构,无需单独控制器
直接高级命令接口(I²C或SPI)
尺寸小:小于28 mm × 13.2 mm × 7 mm,含控制器
高分辨率:0.5µm
生物医学探测和采样
高分辨率调谐系统
目标系统
UAV/UGV控制和光学
显微外科设备
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