村田的SCHA63T是一款单封装工业6DoF(自由度)组件，具有高性能，适用于低成本微机电系统(MEMS)解决方案。具有这种水平惯性传感器性能的传感器通常只能在昂贵的高端惯性测量单元(IMU)模块上使用，这使得工业和农业应用获得所需的精度和准确性的成本很高。这种传感器可以在恶劣环境中实现厘米级的机器动力学和位置传感精度。它采用村田制作所成熟的容性3D-MEMS技术制成，可以高精度地检测xyz轴上的±6g加速度和xyz轴上的±300°/s或±125°/s角速率。陀螺仪在工厂进行了跨轴校准，可实现优于0.25%的正交误差，低至1°/h水平的陀螺仪偏置不稳定性，以及0.0015°/s/√Hz的低噪声密度水平，从而实现稳定的系统。

从MEMS传感器接收的所有信号都使用两个使用灵活SPI数字接口的混合信号专用集成电路(asic)进行处理。传感元件和asic封装在符合rohs标准的预成型19.71 mm x 12.15 mm x 4.6 mm(长x宽x高)SOIC 32针塑料外壳设计中，外壳保证在产品的使用寿命内可靠运行，确保安全，坚固和经过验证的设计。由于其广泛的自诊断功能集成到MEMS和定制ASIC中，SCHA63T非常适合安全关键应用。此外，三个传感器中的两个在-40°C至+110°C的全温度范围内具有出色的线性度，振动性能，稳定的偏移和灵敏度。SCHA63T可以帮助确保安全，稳健和经过验证的设计。