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Heateflex推出用于半导体制造的 新型 HC 生产线内加热器和加热器/混合器

来源:http://news.hqew.com/info-293577.html 发布时间:2015-09-02

摘要: Heateflex今日发布用于半导体制造生产线内加热器和液体加热器/混合器两款新产品。HC 生产线内加热器和加热器/混合器含氟聚合物产品采用精巧设计,在苛刻的半导体制造环境中拥有卓越可靠性。全新 HC 生产线内加热器采用特殊内部管件,无需密封件,提高可靠性,加热管上焊接式顶盖摒弃O 型环,...

  Heateflex今日发布用于半导体制造生产线内加热器和液体加热器/混合器两款新产品。HC 生产线内加热器和加热器/混合器含氟聚合物产品采用精巧设计,在苛刻的半导体制造环境中拥有卓越可靠性。

  全新 HC 生产线内加热器采用特殊内部管件,无需密封件,提高可靠性,加热管上焊接式顶盖摒弃O 型环,从根本上杜绝颗粒污染风险。此加热器核心为专业型轻量、全 PFA 浸水面Heateflex加热盘管。此专利加热元件可快速响应各种工序需求,且其质量较轻使得加热器能以最短的时间和更均匀的热量分布达到设定温度点。HC 生产线内加热器可提供各种尺寸,输出范围为 2 到 10 千瓦(kW),电压范围则为 120 到 480 伏。

  Heateflex亦推出一款 HC 生产线内加热器/混合器产品,将生产线内加热器的特点和优势与混合能力相结合,在精巧装置中整合加热和液体混合功能,是小空间配置的理想之选。混合器中可组合不同流量的多达三种不同液体,内部挡板与加热元件本身的结合使得输出液体得到均匀混合和加热。HC 加热器/混合器的输入歧管可 360 度旋转,能满足特定管道工程需要,以及通过立式或卧式安装来节省空间。

  Heateflex总裁兼首席执行官 Jorge Ramirez 说道:“全新Heateflex HC 生产线内加热器和生产线内加热器/混合器足以满足半导体行业对高可靠性以及极紧凑设计的工序纯度的双重需要。在广泛的超高纯度加热设备系列中新增这两款新产品,以应对最苛刻的工业应用需求,我们深以此为傲。”



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