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北京七星电子12英寸集成电路立式氧化炉实现产业化

来源:http://news.hqew.com/info-290458.html 发布时间:2015-05-19

摘要: 2015年1月,北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)与上海华力微电子有限公司签订2台12英寸立式氧化炉供销合同,用于其55 纳米集成电路生产线。这标志着七星电子的氧化炉产品继在中芯国际验证成功后,又一次在国内高端集成电路生产领域取得突破,开始走向商用化。七星电子具有50余年的半...

  2015年1月,北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)与上海华力微电子有限公司签订2台12英寸立式氧化炉供销合同,用于其55 纳米集成电路生产线。这标志着七星电子的氧化炉产品继在中芯国际验证成功后,又一次在国内高端集成电路生产领域取得突破,开始走向商用化。


  七星电子具有50余年的半导体装备研制生产历史,是我国集成电路工艺设备骨干研制生产企业。近年来,在国家科技重大专项支持下,七星电子承担了 12英寸立式氧化炉的研制任务。通过企业持续创新与投入,以及和用户的紧密合作,七星电子研发团队成功研制出完全自主知识产权的12英寸立式氧化炉产品,通过了中芯国际90纳米、65纳米、45纳米、28纳米生产线的工艺验证。设备的关键工艺指标、可靠性、安全性均达到国际同等设备技术水平,并实现产品系列化。

  未来,七星电子将瞄准集成电路产业技术发展方向,通过持续投入,不断提高自身技术研发能力和立式炉产品的技术水平,增强国际市场竞争力。同时,通过12英寸LPCVD,单片清洗机等产品的研制,扩大集成电路装备产品线,努力把企业打造成国内高端集成电路设备的龙头企业,为中国集成电路产业的发展贡献力量。



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