Veeco推出业界最高生产率与最佳良率的EPIK700 MOCVD系统

来源：http://news.hqew.com/info-284220.html 发布时间：2014-09-05

摘要： Veeco推出了最新的的TurboDisc?EPIK700?氮化镓(GaN)金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统，结合了该行业最高的生产率与最佳良率这两大优势，运营成本低，从而进一步降低通用照明应用的发光二极管(LED)的制造成本。EPIK700 MOCVD系统采用了Veeco大生产验证过的Tu...

Veeco推出了最新的的TurboDisc?EPIK700?氮化镓(GaN)金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统，结合了该行业最高的生产率与最佳良率这两大优势，运营成本低，从而进一步降低通用照明应用的发光二极管(LED)的制造成本。

EPIK700 MOCVD系统采用了Veeco大生产验证过的TurboDisc技术，具有行业内最大的反应腔，其产能相当于目前的其它反应腔的两倍多。反应腔的容量增加，再加上腔内波长均匀性以及生产力的提升，与之前的反应腔相比，其产量提高了2.5倍。

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