EDWARDS推出STP-iXR1606系列磁悬浮涡轮分子泵

来源：http://news.hqew.com/info-213848.html 发布时间：2012-04-13

摘要： 全球领先的真空设备、尾气处理设备和相应服务的供应商Edwards公司推出带有完全集成一体化控制器的STP-iXR1606系列磁悬浮(magnetically-levitated)涡轮分子泵(turbo-molecu...

全球领先的真空设备、尾气处理设备和相应服务的供应商Edwards公司推出带有完全集成一体化控制器的STP-iXR1606系列磁悬浮(magnetically-levitated)涡轮分子泵(turbo-molecular pumps，TMP)。新型TMP泵包含了革新性的旋转设计，与现有产品相比，在高气体流量下可提高40%的处理能力，并增加接近90%的最大气体流量。

Edwards的新TMP泵带有完全集成的控制器，省去了非集成控制器通常需要的连接电缆和控制柜。这有助于减少占位面积，为晶圆厂节省宝贵的空间，以及安装时间和成本。此外，该一体式控制器包含了小型电源，与现有产品相比，在处理高流量气体时能够降低32%的能耗。

Edwards STP 产品经理 Masahide Tanaka称：“新的STP-iXR1606扩展了Edwards行业领先的涡轮分子泵本身已有的较高性能。它的峰值抽速与我们最出色的8英寸TMP泵相匹配，但在处理能力和最大容许气体流量方面则有显著的提高。正如我们所有的磁悬浮TMP，该设备无需维护。STP-iXR1606系列为我们的客户提供了适合所有应用的一体化TMP解决方案，同时能够减少占位面积，简化安装过程并降低能源消耗成本。”

STP-iXR1606系列具有等同IP54级别的防尘和防潮性能，在多尘环境中提供了高可靠性。新设备具有I/O远程、RS232C、RS485和STP-link标准通信接口，以及提供Profibus和DeviceNet选项。（责编：叶松柏）

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