(华强电子世界网讯)美国Oak Ridge国家实验室最近声称，其研究员Panos Datskos与Nickolay Lavrik使用其硅微机电系统(MEMS)传感器检测出5.5飞克(毫微微克)的物质，创造了一项新的世界纪录。其中使用的只有2微米长、50纳米厚的硅悬臂，由一种廉价的二极管激光器振动。
    
     通过在悬臂上涂上对蛋白质、细胞或痕量的任何化学物质，研究人员认为使用MEMS传感器在理论上能够检测任何物质。
    
     Datskos透露他的研究队伍正在研究一种“通用”传感器，可以像气相色谱仪一样识别任何物质。这种传感器使用10种不同类型的悬臂。他还计划提高MEMS传感器的灵敏度，通过将谐振频率从目前的2MHz提高到50MHz，并且相应地使悬臂更小、更硬，最终完成检测单个分子的目标。
    
     Datskos的研究小组在硅悬臂的一端涂上单层的金或铝，使用一个与热时间常数相匹配的激光束照亮悬臂，产生的热量使悬臂弯曲，由于涂层不同弯曲的程度也不一样。这样激光就拉扯悬臂，通过测量不同悬臂的振动频率就可以测量出感应的物质的量。