（华强电子世界网讯）为了确保真空输送系统中的组件没有玷污风险，美国加利福尼亚州Sunnyvale的系统制造商H-Square公司决定采用Victrex^®PEEK™ 高性能工程热塑性树脂制造真空吸盘。
    
    

在制造过程中，任何对象接触硅片都会造成玷污情况，因此，硅片输送设备必须采用不会产生玷污颗粒的材料制造。吸盘是真空输送系统在生产过程中真正接触硅片的组件。
    
     Victrex^®PEEK™ 聚合物是一种纯材料，兼有耐高温性和化学稳定性，可连续耐受260°C的工作温度。一般用来替代金属加工件，广泛应用于各种高性能的终端产品，包括汽车和飞机组件、工业用泵、阀门和密封件，以至硅片输送设备、连接器和可消毒的外科手术器材。
    
     H-Square的真空吸盘采用碳纤维增强型 PEEK™ 树脂制成，之所以添加碳纤维，是为保护硅片免受静电放电 (ESD) 的影响，因为即使微量的静电都会损坏硅片。