富士通利用石墨烯试制气体传感器可检测出7ppb的NO2

来源：http://news.hqew.com/info-307098.html 发布时间：2016-12-06

摘要： 富士通开发出了采用石墨烯的半导体气体传感器。将在半导体元件及工艺技术相关国际会议“IEDM 2016”(12月3?7日、旧金山)上就其详细情况发表演讲。该传感器的特点是灵敏度较高，选择性较大。试制的气体传感器将普通的MOSFET栅极电极换了成了石墨烯。这样一来，NH3和NO2吸附到石墨烯上时，MO...

富士通开发出了采用石墨烯的半导体气体传感器。将在半导体元件及工艺技术相关国际会议“IEDM 2016”(12月3?7日、旧金山)上就其详细情况发表演讲。该传感器的特点是灵敏度较高，选择性较大。

试制的气体传感器将普通的MOSFET栅极电极换了成了石墨烯。这样一来，NH3和NO2吸附到石墨烯上时，MOSFET的漏极电流就会出现变化。检测到NO2时，MOSFET的漏极电流会减少，检测到NH3时，MOSFET的漏极电流会增加。

通过检测这种漏极电流的变化，在室温下，可检测到7ppb(1ppb为十亿分之一)的NO2和420ppb的NH3。不过，该传感器对SO2、H2S和乙醛基本无反应。传感器的灵敏度可以调节。

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