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固德真空泵浦监测方案完美消弭半导体氧化制程风险

半导体制造蕴含蚀刻、黄光、扩散、薄膜等必经程序，如何确保各项制程设备的健康状态，无疑至关重大。

真空泵 半导体 氧化

时间：2019-02-14

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EDWARDS推出新集成式真空泵IPUP2

Edwards集团有限公司已经推出了针对应用材料公司制造平台的加载互锁和输送腔体应用的全新集成式真空泵IPUP2。该第二代泵在加载互锁抽真空时间、能耗和维护要求方面具有明显优势，这些先进性能结合起来为其带来同类最佳...

真空泵 edwards 加载互锁

时间：2013-07-17

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EDWARDS发布用于LED和化合物半导体制造的新型真空泵

2012年7月3日，全球领先的高精真空设备和尾气处理系统制造商及相应增值服务供应商Edwards公司宣布推出新的iXH645H干泵，新设备经过优化，适用于LED制造中使用的MOCVD工艺，以及在栅堆叠(gate s...

真空泵

时间：2012-07-03

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