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2014年3月18日全球领先的真空设备和尾气处理系统制造商及相应增值服务供应商Edwards公司将在3月18-20日于上海新国际博览中心举办的SEMICON? China展会上展示一系列高性能真空泵,包括最近推出的STP-iXA4506大容量(large-capacity)涡轮分子泵(turbom...
精密真空产品和尾气处理系统领先制造商及相关增值服务全球供应商Edwards 集团有限公司(纳斯达克代码:EVAC)最近加入了一个由全球十家半导体设备公司组成、旨在组建450mm晶圆制造设备联盟(F450C)的工作组。这是全球450联盟(G450C)的一个分小组,其建立是为了解决下一代450mm半导...
Edwards集团有限公司已经推出了针对应用材料公司制造平台的加载互锁和输送腔体应用的全新集成式真空泵IPUP2。该第二代泵在加载互锁抽真空时间、能耗和维护要求方面具有明显优势,这些先进性能结合起来为其带来同类最佳...
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