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真空传感器用于测量真空或低于大气压的压力。在低真空范围内工作的传感器会使用某种物理位移或材料特性变化来进行测量,中高真空传感器则使用环境的特性(例如热导率和电离)进行测量会更为准确。 性能参数有真空范围和工作温度。
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