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摘要： 包括SFS热质量流量传感器模块和流体块适配器。
创新传感器技术SFS评估套件包括SFS热质量流量传感器模块和流体块适配器。SFS流动模块监测快速和连续的气体流动。该流动模块可以在sccm (ml/min)中进行工厂校准，重现率为0.2%。流模块具有硬件地址引脚，可用于多达四个模块和大于100Hz采样率的系统。SFS01评估套件用于气体分析仪，气体混合阀，气体供应和定量系统，医疗设备和分析设备。
快速，连续的气体流量监测，响应时间≤20ms
工厂校准以sccm (ml/min)，重现性0.2%
方向无关的量热测量
硬件地址引脚的系统与多达4个模块
大于100Hz的采样率
5V(DC)±10%电源电压
过程控制
医疗设备
气体混合阀
气体分析仪
环境监测和分析设备
气体供应和加药系统
SFS热质量流模块
液块适配器
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