摘要: 法国SOI(绝缘层上硅)基板厂商Soitec Group开发出了300mm的极薄型SOI晶圆制造技术。对于该晶圆采用22nm以及更精细的CMOS工艺技术来制造完全耗尽型SOI元件的准备工作也已就绪。 &nb...
法国SOI(绝缘层上硅)基板厂商Soitec Group开发出了300mm的极薄型SOI晶圆制造技术。对于该晶圆采用22nm以及更精细的CMOS工艺技术来制造完全耗尽型SOI元件的准备工作也已就绪。
Soitec在2008年的“SEMICON West”上发布了300mm极薄型SOI晶圆平台。之后,该公司致力于晶圆与工艺的优化,以及如何获得公司内部及客户对晶圆的认可。制造工艺采用了该公司的“Smart Cut”技术,能够通过采用SOI底板特定参数的应用程序来进行调整。
此次开发的SOI晶圆的硅层厚度为20nm,膜厚均匀性为±0.5nm以内。另外,此次还试制了具有高介电率(high-k)及金属栅极层叠结构、栅极长25nm的完全耗尽型SOI晶体管,实证结果表明,这种结构远远优于原来的块状硅结构。
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