摘要: 目前国内也仅仅对8英寸及以下的硅晶圆制造技术有所掌握,其中小尺寸4-6英寸硅晶圆基本已自给自足,而8英寸和12英寸的自给率仍很低。
晶圆是硅元素加以纯化,经过照相制版、研磨、抛光、切片等程序将多晶硅融解拉出单晶硅棒,然后切割成一片片晶圆,主要应用在IC制造中。我们经常会听到几寸的晶圆厂,如果硅晶圆的直径越大,代表着这座晶圆厂有较好的技术。
从全球来看,硅晶圆材料具有高垄断性,全球一半以上的半导体硅材料产能集中在日本。因此,目前国内也仅仅对8英寸及以下的硅晶圆制造技术有所掌握,其中小尺寸4-6英寸硅晶圆基本已自给自足,而8英寸和12英寸的自给率仍很低,12英寸及以上规格的硅晶圆则几乎全部依靠进口。
随着中国政策大力支持和大基金对产业链持续投入,已出现一系列颇具实力的厂商。这些厂商在政策支持下,积极投入研发创新,各自开发的产品已初见成效,现已成为中国半导体材料产业中坚力量。
1.上海新昇
上海新昇成立于2014年,是国内首个300mm大硅片项目的承担主体,也是目前唯一获得国家重大项目支持的硅片公司,主要由上海新阳、兴森科技、张汝京博士技术团队及新傲科技发起。近日上海新昇表示,他们的12英寸硅晶圆已经通过了华力微电子的认证,今年底产能可达10万片/月,而最终的产能高达60万片/月。
2.浙江金瑞泓
浙江金瑞泓科技股份有限公司是一家致力于半导体材料研发与生产的高新技术企业,创建于2000年6月,位于宁波保税区,2011年11月由宁波立立电子股份有限公司更名而来。2017年金瑞泓产值8.4亿元,同期相比增长22%,并成功通过国家02专项验收,具备8英寸生产能力。
3.北京有研总院
北京有色金属研究总院(简称有研总院),创建于1952年11月,是中国有色金属行业规模最大的综合性研究开发机构,是国务院国资委管理的中央企业和国家首批百家创新型企业,具备8英寸生产能力。
4.洛阳麦克斯
麦斯克公司是一个主要生产100mm、125mm和150mm集成电路级硅抛光片的专业公司。该公司从单晶到抛光片的整个生产过程均采用了从国际顶级电子材料公司引进的世界先进的硅片生产技术和管理经验。
5.晶盟
上海晶盟硅材料有限公司于2005年6月成立,经营范围包括研发、设计、制造、加工半导体硅外延片、硅抛光片及相关产品等。
6.申和热磁
上海申和热磁电子有限公司是由日本磁性流体技术株式会社投资于上海宝山城市工业园区的全资公司。公司创立于1995年5月,下设太阳能硅片事业部、半导体硅片事业部、TE和表面处理四个事业部。主要产品包括8英寸(含8英寸)以下各种规格的太阳能级单、多晶硅锭和单、多晶硅片、微波电路、存储器电路、半导体热电材料。
7.中环环欧
天津市环欧半导体材料技术有限公司成立于2000年,国有控股企业公司经营的产品全部由公司独立开发和生产,拥有多项国家授权发明专利,形成了直拉单晶硅、区熔单晶硅、直拉硅片、区熔硅片四大产品系列。2018年3月,8英寸抛光片产能已达到10万片/月,预计2018年10月将达到30万片/月;同时建立12英寸抛光片试验线,目前12英寸单晶硅已经实现样品试制,预计2018年底实现产能2万片/月。
8.安集微电子
安集微电子科技(上海)有限公司是集研发、生产、销售为一体,致力于高增长率和高功能先进材料的研发和生产。目前,安集微电子的铜/铜阻挡层抛光液产品12 英寸45nm及以下技术节点,产品性能达到国际领先水平。
9.上海新阳
上海新阳8月10日晚间发布2018年半年度报告,2018年上半年,上海新阳实现营业总收入2.51亿元,比上年同期增长8.50%,主要原因为上半年化学材料产品、配套设备持续增长,氟碳涂料销售也实现增长。
10.江丰电子
江丰电子是国内溅射靶材龙头,业务覆盖半导体、面板、太阳能电池三大领域,横向与纵向延伸,打造世界级溅射靶材企业。目前已经基本进入全球主流晶圆代工企业的供应体系,外销占比高达75.5%,而受限于国内半导体制造产业发展的相对滞后,公司内销仅占24.5%。
根据中国新建晶圆厂和封测厂的建设进程,多数建设中的生产线将在2018年陆续导入量产,届时对应的上游半导体材料产业将出现新一轮爆炸性成长。让我们一同期待硅晶圆国产化的到来吧!
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